Перфлуороетер гума (ФФКМ)је одличан материјал за заптивање. Због својих супериорних перформанси, нашао је широку примену у систему производње полупроводника. Један од примарних потрошних материјала потребних за производњу интегрисаних кола су перфлуороетерски заптивни прстенови.
Главни мономери у перфлуороетерској гуми су тетрафлуороетилен и перфлуороалкил винил етар, који су кополимеризовани са малом количином трећих мономера са тачкама вулканизације. То је гума која уопште не садржи ЦХ везе. Садржај флуора у његовој молекуларној структури, структура и садржај перфлуорисаног винил етра, енергија везе и количина умрежених веза у процесу вулканизације утичу на перформансе вулканизованог једињења и температуру стакластог прелаза. Структура и компоненте су различите, као и њихове перформансе. Следеће су примарне карактеристике перформанси перфлуороетар гуме:
1) Физичка својства: Густина је 1.9-2.0г/цм3, физичка и механичка својства су слична флуоро-каучуку, а сет за компресију на високој температури је супериорнији од флуор-каучука.
2) Хемијска отпорност: Хемијски је отпорна.
3) Отпорност на високе и ниске температуре: радна температура је типично 260290 степени, али се може користити повремено на 316 степени. Тг (температура стакластог прелаза) неких перфлуороетарских гума је -19 степени.
4) Отпорност на пару високе температуре.
5) Мала количина падавина и испуштање.
6) Отпорност на плазму.
Има високу чистоћу и карактеристике производа ниске количине падавина у окружењу плазме, и може издржати удар плазме дуго времена.Поузданост еластомерних заптивки је критична у производњи полупроводника, а цена заустављања производње ради замене заптивки је изузетно висока. Захтеви за чистоћу и чистоћу печата су изузетно строги како би се избегли потенцијални ризици. У исто време, заптивке морају бити у стању да раде дужи временски период под притиском високог вакуума, корозивних хемијских гасова и окружења високе температуре.
Сировине за перфлуороетерску гуму су скупе и обично се користе у производњи полупроводника. Отпоран је на плазма корозију, гасну корозију, киселу и алкалну корозију, корозију на високим температурама, високе захтеве за чистоћом за гумене заптивке, помаже у одржавању интегритета заптивке, смањује време одржавања и побољшава безбедност, и најбољи је заптивач за производњу полупроводника Материјал.