Полупроводнички вакуум систем је једна од кључних опреме која се користи за производњу полупроводничких уређаја. То је затворени систем у високо чистом окружењу ниског притиска за руковање и обраду полупроводничких материјала и уређаја.
У полупроводничким вакуум системима, гумене заптивке високих перформанси се често користе због захтева високе чистоће и ниске стопе цурења. Ево неких уобичајених типова гумених заптивки:
Витон (ФПМ) заптивке: Витон је флуороеластомер отпоран на хемикалије и високе температуре који се широко користи у вакуум системима. Има одличну отпорност на високе температуре, отпорност на корозију и ниску пропустљивост гаса, што га чини погодним за захтеве за заптивање који издржавају висок вакуум и високе температуре.
Нитрил (НБР) Заптивке: Нитрил је синтетичка гума опште намене са добром отпорношћу на уље и хабање. У полупроводничким вакуум системима, нитрилне заптивке се углавном користе у неким не-високим температурама, некорозивним апликацијама, као што су ниски вакуум и прикључци гасовода.
Силиконска (ВМК) заптивка: Силикон је силиконска гума отпорна на високе температуре са добром еластичношћу и отпорношћу на топлоту. Често се користи у полупроводничким вакуум системима како би издржао захтеве за заптивање у окружењима са високим температурама, као што су топлотна обрада, жарење и чишћење паром при високим температурама.
ЕПДМ заптивка: ЕПДМ је етилен пропилен гума са добром отпорношћу на оксидацију, отпорност на киселине и алкалије. У полупроводничким вакуум системима, ЕПДМ заптивке се често користе у не-високим температурама, некорозивним апликацијама као што су ниски вакуум и цевоводи за пренос гаса.
Ове гумене заптивке имају различите карактеристике и опсеге примене. Приликом одабира одговарајућег заптивача, морају се узети у обзир фактори као што су радни услови система, температурни опсег, својства медија и захтеви за притиском. Поред тога, како би се осигурале перформансе заптивања, процес производње и уградње заптивки такође треба да прати строге захтеве процеса.
У полупроводничким вакуум системима, поред гумених заптивки, често се користе гумене заптивке за постизање ефикасног заптивања. Ево неких уобичајених типова гумених заптивки:
О-прстен заптивка: О-прстен је гумена заптивка са кружним попречним пресеком и широко се користи у полупроводничким вакуум системима. Има добре перформансе заптивања и способност деформације компресије и може се прилагодити различитим захтевима за заптивање, као што су прикључци цеви, вентили, спојеви итд.
Равна заптивка: Равна заптивка је равна гумена заптивка која се обично користи за прирубничке везе у полупроводничким вакуум системима. Постиже заптивање контактом са површином прирубнице и обично је направљен од гуменог материјала отпорног на високе температуре, као што су Витон или Силикон.
Заптивка у облику слова У: Заптивка у облику слова У је гумена заптивка у облику слова У погодна за специфичне потребе заптивања у полупроводничким вакуум системима. Често се користи за заптивање клипова, клипњача, цилиндара и других компоненти и има добре перформансе заптивања и отпорност на деформацију компресије.
Заптивка у облику слова В: Заптивка у облику слова В је гумена заптивка у облику слова В која се обично користи за вентиле и ротирајуће заптивке вратила у полупроводничким вакуум системима. Постиже ефективно заптивање кроз контакт са заптивном површином и има добро заптивање и отпорност на хабање.
Избор ових гумених заптивки се одређује на основу специфичних захтева за заптивање, радних услова и својстава медија. Истовремено, избор материјала заптивке је такође веома важан. Обично коришћени материјали укључују Витон, Нитрил, Силикон, итд. Специфичан избор треба да узме у обзир факторе као што су температурни опсег, отпорност на хемијску корозију и брзина цурења гаса. Приликом постављања заптивке, треба обратити пажњу на одржавање површине заптивке чистом и осигурати да је заптивка правилно постављена и притиснута како би се постигао добар ефекат заптивања.
Popularne oznake: полупроводничке вакуумске заптивке, произвођачи, добављачи, фабрика у Кини
